
v 功能特點
ü 本底真空:2E-10torr
ü 4個UHV超高真空陰極
ü 系統(tǒng)可烘烤
ü 共濺或順序濺射系統(tǒng)
ü 4軸加熱樣品臺,可旋轉(zhuǎn)、XYZ方向均可移動
ü SiC加熱器,加熱溫度850℃以上
ü 多腔體真空互聯(lián)
ü 手動或自動LoadLock上下片系統(tǒng)
v 沉積材料
ü Nb、Ti、Al、NbTi等低溫超導(dǎo)材料
ü Fe、Co、Ni及合金磁性等材料



北京時代天啟真空科技有限公司
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v功能特點ü本底真空:2E-10torrü4個UHV超高真空陰極ü系統(tǒng)可烘烤ü共濺或順序濺射系統(tǒng)ü4軸加熱樣品臺

v 功能特點
ü 本底真空:2E-10torr
ü 4個UHV超高真空陰極
ü 系統(tǒng)可烘烤
ü 共濺或順序濺射系統(tǒng)
ü 4軸加熱樣品臺,可旋轉(zhuǎn)、XYZ方向均可移動
ü SiC加熱器,加熱溫度850℃以上
ü 多腔體真空互聯(lián)
ü 手動或自動LoadLock上下片系統(tǒng)
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