產品介紹Product introduction
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XM-60多光束激光干涉儀
XM-60是一款可測量6個自由度的激光測量系統:
沿線性軸;
測量;
只需一次設定 測量誤差包括:
軸的線性定位;
垂直平面的角度旋轉(仰俯);
水平平面的角度旋轉(扭擺);
水平平面的直線度偏移;
以線性運動軸為中心的滾擺;
產品參數Product parameters
性能規格
| 線性 | |
| 測量精度 | ±0.5ppm(使用環境補償) |
| 分辨率 | 1nm |
| 測量范圍 | 0m至4m |
| 直線度 | |
| 精度 | ±0.01A/±2µm(A=顯示的直線度讀數) |
| 分辨率 | 0.25µm |
| 測量范圍 | 250µm(半徑) |
| 角度(俯仰/扭擺) | |
| 精度 | ±0.006A/±(0.5微弧度+0.1M微弧度)(M=測量的距離,單位:米) (A=顯示的角度讀數) |
| 分辨率 | 0.03微弧度 |
| 測量范圍 | ±500微弧度 |
| 滾擺 | |
| 精度 | ±0.01A±9.1微弧度(A=顯示的角度讀數) |
| 分辨率 | 0.5微弧度 |
| 測量范圍 | ±500微弧度 |
工作與存儲環境
| 工作環境 | ||
| 空氣壓力 | 600毫巴-1150毫巴 | 標準環境 |
| 濕度 | 相對濕度0%-95% | 非冷凝 |
| 溫度 | 10°C至40°C |
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| 存儲環境 | ||
| 空氣壓力 | 550毫巴–1200毫巴 | 標準環境 |
| 濕度 | 相對濕度0%-95% | 非冷凝 |
| 溫度 | -20°C至70°C |
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產品展示Product display
產品優勢Product advantage
應用場景Application scenarios




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