PZCY系列濾芯專為氧化物CMP、鎢CMP及銅CMP中塊狀顆粒及膠體過濾設計，采用連續漸變孔徑深層過濾技術，實現分級過濾，是濾芯具有高納污空間，大大延長了使用壽命。

優點特性

•         梯度式精度，深層過濾技術，濾膜孔徑由外到內逐漸減小，截留大顆粒，放行有效顆粒，增加有效過濾面積，提高納污量，從而延長濾芯使用壽命
•         采用純聚丙烯結構，非接觸熱熔焊接技術，控制了過濾過程中的析出問題，具有廣泛的化學相容性

        EPTY系列濾芯專門針對CMP研磨精密過濾設計，能有效攔截漿料中大顆粒，放行有效顆粒，保證研磨液中顆粒大小的均勻性。穩定性，采用非對稱膜結構，使濾芯具有的納污能力。

優點特性

•         采用雙層PES膜結構，保證超高過濾效率，能準確攔截大顆粒，放行有小顆粒
•         采用非對稱微孔膜梯度孔徑結構，極大提升過濾性能，增大濾芯納污量，提高使用壽命
•         采用PP骨架、PES濾膜，具有優異的化學相容性