探針式輪廓儀 / 臺階儀 / P-7 Stylus Profiler

P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

產品描述

P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

主要功能

臺階高度：幾納米至1000μm

微力恒力控制：0.03至50mg

樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

軟件：簡單易用的軟件界面

生產能力：通過測序，模式識別和SECS / GEM實現全自動化

主要應用

臺階高度：2D和3D臺階高度

紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

形狀：2D和3D翹曲和形狀

應力：2D和3D薄膜應力

缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業應用

大學、研究實驗室和研究所

半導體和化合物半導體

LED：發光二極管

太陽能

MEMS：微機電系統

數據存儲

汽車

醫療設備

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