采用了三重掃描方式，運用激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的細微粗糙度，以及鏡面體，透明體等?；魇縑K-X3000系列形狀測量激光顯微系統擁有應對多種樣品的測量能力（從1nm到50mm），納米/微米/毫米一臺完成測量。

觀察

從光學顯微鏡到SEM領域一臺設備涵蓋

· 42 至 28800 倍

· 無需對焦

· 適用于多種樣品

測量

非接觸瞬間掃描形狀

· 不會損傷目標物

· 納米級別也可準確測量

· 透明體和坡度大的目標物也可測量

分析

希望了解的表面“差異"一目了然

· 定量化微小形狀

· 輕松比較多個樣品

· 粗糙度分析

三重掃描方式

解決“難以測量"的難題

可根據樣品工件的材料、形狀和測量范圍，選擇激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理，進行高精度測量。