一、簡介

珀金埃爾默公司是ICP-MS技術的，也是ICP-MS技術革新的。1983年珀金埃爾默公司研制開發出世界上用于商業的ELAN® 250型ICP-MS。

NexION 5000是業界多重四極桿ICP-MS，由四組四極桿組成。其創新設計達到和超過如半導體、生物監測和其他應用領域的痕量和超痕量元素檢測要求。NexION 5000性能超越了傳統的三重四極桿技術，提供低的背景等效濃度（在高溫熱等離子字體中，BECs<1 ppt）和出色的檢測限，確保了結果的精度和可重現性。NexION 5000 ICP-MS具有：

的干擾消除能力

出色的背景等效濃度(BECs)

的基體耐受性

符合SEMI S2/S8法規和安規要求

二、技術特點

l  四組四極桿：

組

四極桿離子偏轉器（Q0，Quadrupole Ion Deflector）是一個基于離子能量的靜電質量分析器，對離子進行動態聚焦和質量篩選，同時把離子偏轉90度以實現與中性成分和光子分離，導入下一級四極桿

第二組

為個四極桿質量分析器（Q1，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質量分析器或將離子引導至四極桿通用池。它包含長預四極桿，可獲得更好的高能離子聚焦，從而具有單位質量或更好的質量分辨，分辨率 < 0.3 amu

第三組

為四極桿通用池（Q2，Universal Cell Technology），是市場上由四極桿構成的池技術，具有動態帶寬質量調諧能力（從而可以對反應進行有效的控制），標配軸向場技術（從而可以使用任何所需的氣體），既可以作為離子聚焦加速的離子通道，又可以作為特定離子的質量選擇器，抑制池內副反應的產生，確保所需反應的，從而消除干擾。

第四組

為第二個四極桿質量分析器（Q3，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質量分析器或將離子引導至檢測器。具有單位質量或更好的質量分辨，分辨率 < 0.3 amu

電子稀釋技術（EDR）擴展動態線性范圍至1012，允許在一次運行中，同時分析高低濃度元素，減少重復運行

l  低維護實現長時間運行：

第二代帶OmniRig™的三錐接口（TCI）技術與四極桿離子偏轉器（QID）相結合，從而實現錐后無需維護，保證儀器長時間運行和出色的穩定性

34 MHz自激式RF發生器提供免故障的客戶體驗——的LumiCoil™ RF工作線圈產生等離子體，它只需空氣冷卻（無需水冷或氣冷），從而無需維護且無需更換

l  通過外部狀態指示燈，可輕易得知分析狀態，提高了效率

l  Syngistix™軟件（v. 3.0或更高版本）將多重四極桿的性能與充滿現代感的用戶界面整合，實現用戶友好的工作流程操作

l  可升級SEMI S2/S8認證（應急按鈕），從而符合半導體超凈間設施集成要求

三、應用

適用于環境、地質、化學、食品、藥品、光刻膠、材料等，金屬元素、有機各類形態的分析，低的背景等效濃度（在高溫熱等離子字體中，BECs<1 ppt）和出色的檢測極限。