Regulus8100是日立冷場發射掃描電鏡系列，Regulus8100保留了SU8010易維護、易操作等優點，進一步提高性能，1kV減速模式下*高分辨率達到了0.8nm，15kV達到0.7nm，高低電壓均可滿足高分辨的觀察。
產品特點
1.沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2
2.采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的*佳性能；
3.(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)；
4.采用污染小、高真空樣品倉；
5.運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2
2、半導體器件；
4、生物醫學；
技術參數
*3減速模式下觀察
*4以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率
產品特點
1.沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2
2.采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的*佳性能；
3.(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)；
4.采用污染小、高真空樣品倉；
5.運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2
應用領域
2、半導體器件；
4、生物醫學；
技術參數
| 項目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 二次電子分辨率 | 0.7 nm(加速電壓15 kV)0.8 nm(著陸電壓1 kV）*3 | 0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3 | |||||
| 著陸電壓 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| 放大倍率 | 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 | |||||
| 樣品臺 | 樣品臺控制 | 3軸馬達臺（可選5軸馬達臺） | 5軸馬達驅動 | ||||
| 移動范圍 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| 再現性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm | |||
*4以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率
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