OPTI-Sense系列傳感器建立在非色散紅外測量法基礎上，能夠精確測量半導體應用中產生的特種氣體的紅外光譜吸收。該儀器設計緊湊，且無移動部件，適合在半導體工業流程中用于連續的現場氣體監測。
內置的診斷系統包含在軟件當中。全部OPTI-Sense系列傳感器都配有模擬和數字交互，使得它們可以簡單的整合進任何工業流程。
SiF4
規格參數
支持的氣體
SiF4
CF4
SiF3
SF6
CO
NF3
CO2
WF6
和其他氣體
規格參數
測量原理 ：非色散紫外吸收法
應用 ：現場測量
光源 ：脈沖紅外發射器
材料 ：抗腐蝕的光學元件,
不銹鋼接觸液體的部件
尺寸 (高x寬x長) ：5.00” x 8.75” x 3.25” (包含光源和探測器)
重量 ：< 5 lbs
模擬輸出 ：出廠設置為 0 – 1, 5, 或 10 volt
數字交互 ：RS-232 C和可選的GUI交互
響應時間 ：< 10秒
電源 ：15 VDC – 小于 10 瓦特 (可選AC 電源)
采樣端口 ：KF16 – 304 SS (可選其他選項)
校零 ：支持遠程校零
漏氣測試 ：真空密封測試
軟件 ：嵌入 (標準) - Labview GUI 交互(可選)
認證 ：CE
保修 ：1 年
特征
NDIR 非色散紅外測量法
適用于任何吸收紅外光的氣體
響應時間快
高敏感度
氣體特異性
無耗材
無移動部件
GUI LabView軟件(可選)
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