【適用范圍】：真空等離子清洗機，氣體通過激勵電源離化成等離子態，等離子體作用于產品表面，清洗產品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環保、高效、穩定的表面處理方式。
產品放置治具靈活多變，可適應不規則的產品
| 電源系統 | 射頻電源 | 中頻電源 | |
| 功率 | 0~600W | 0~2000W | |
| 頻率 | 13.56MHz | 40KHz | |
| 真空系統
| 雙級旋片泵（油泵） | 60m3/h | |
| 真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 | ||
| 材質 | 鋁合金（可定制不銹鋼腔體） | ||
| 厚度 | 25mm | ||
| 密封性 | 級焊接密封 | ||
| 腔體內部尺寸 | 450×450×500mm（寬×高×深） | ||
| 電極板有效尺寸 | 420×411mm（寬×深） | ||
| 可用空間間距 | 22.5mm | ||
| 電極板布置方式 | 水平布置，可活動抽取 | ||
| 工作托盤 | 標配一套，材質可選配(鋁材、鋼絲網） | ||
| 工作空間 | 8層 | ||
| 氣體系統 | 流量范圍 | 0~300SCCM | |
| 工藝氣體氣路 | 標配兩路，可定制 | ||
| 控制系統 | 系統控制 | PLC | |
| 交付方式 | 7寸觸控屏幕 | ||
| 其它參數 | 外形尺寸 | 900×1750×1000mm（寬×高×深） | |
| 重量 | 200KG | ||
| 設備外觀顏色 | 銀灰色 | ||
廠務規格要求
| 廠務規格要求 | |
| 交流電源規格 | 電源：AC380V，50/60Hz，5線，50A |
| 廠務排氣 | 流量：2.0 m³/min |
| 廠務工作氣體要求 | 流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm² 管徑：6×4 mm 材質：PU管 純度：99.99%以上 |
| 廠務壓縮空氣要求 | 流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm² 管徑：8×5 mm 材質：PU管 露點：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft³ |
一般規格
| 一般規格 | |
| 危險標識 | 高壓危險標識 |
| 使用環境 | 溫度：15~30℃ 濕度：30~70% |
| 其他注意事項 | 不可有可燃性氣體，腐蝕性氣體，爆炸或反應性粉塵 氣瓶需固定 |
配置清單
| 配置清單 | |||||
| 序號 | 名稱 | 描述說明 | 單位 | 數量 | |
| 1 | 主機 | 外形尺寸：900×1750×1000mm（寬×高×深） | 臺 | 1 | |
| 2 | 真空腔體 | 鋁合金真空腔體 內尺寸450×450×500mm（寬×高×深） | 個 | 1 | |
| 3 | 激勵電源 | 射頻電源 | 中頻電源 | 套 | 1 |
| 頻率：13.56MHz； 功率0~600W 或0~1000W可選； 全自動真空電容匹配器 | 頻率：40KHz； 0~1000W;
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| 4 | PLC | 德國西門子，S7-200 | 個 | 1 | |
| 5 | 觸摸屏 | 威綸通，七寸屏幕，MT6071iE | 個 | 1 | |
| 6 | 流量計 | 英國wawick品牌 | 個 | 2 | |
| 7 | 真空泵組 | 飛越雙級旋片泵（油泵）：60m3/h | 臺 | 1 | |
| 8 | 真空計 | 英福康 | 個 | 1 | |
| 9 | 說明書 | 真空等離子清洗機WBE-100操作說明書 | 份 | 1 | |
維護保養
| 維護保養 | |||
| 項目 | 檢查內容 | 壽命 | 檢查頻率 |
| 油泵 | 濾芯 | 使用時間2000H | 15天 |
| 泵油 | 使用時間2000H | 15天 | |
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