凈化原理：該凈化機利用催化劑促使氬氣中的微量氧氣與碳反應生成二氧化碳，從而除去氬氣中的雜質氧氣，再利用分子篩吸附脫除氬氣中的H2O、CO2等雜質，即可得到高純氬氣供用氣設備使用。

對原料氬氣要求

一般瓶裝純氬，液氬、控制較好的管道氬氣。

雜質要求： O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm。

輸出純氣：純度：99.9998%

雜質含量：O2≤0.5PPm，H2O≤1PPm(即露點≤-76℃)，CO+CO2≤0.1PPm，S、P的氧化物≤0.1PPm。

塵埃粒子數(≥0.3μm)3-5個/升。  工作壓力：0.4-1.5MPa。  處理氣量：4NM3/h。

設備特點

1)催化劑活性高，凈化后的氣體純度高。

2)雙式結構，一組工作另一組再生備用，故能長期連續供氣。

3)采用本機純氣吹掃的再生流程，再生不用氫，故不需專用機房，安全性好。

4)GYA-4C對再生具有自動功能，操作更簡單，并且不易出錯，性能也更穩定可靠。

5)系統采用零泄露的波紋管閥門而不是故障率和泄漏量都較大的電磁閥，設備的可靠性更高。