RUQF100C系列是目前國內性能氣浮直線臺，特殊的防塵處理裝置。可作為單軸使用，或根據應用與其它軸組裝成系統。搭配的控制系統，制造出性價比高的氣浮位移系統，廣泛應用于加工，測試測量，印刷、掃描、半導體及光子學等行業。
非接觸式結構
RUQFL100C系列采用非接觸式氣浮導軌、直線電機質心驅動和非接觸式反饋裝置，確保免維護運行，因為運動元件間沒有機械接觸，隨著時間的推移，不會出現磨損或性能下降，使用壽命幾乎是無限的，氣浮導軌不需要潤滑，只需要清潔及干燥的氣體，是用戶應用的理想選擇。
高精度指標
氣浮導軌基于氣體動靜壓效應，實現無摩擦和無振動的平滑移動，與直驅直線電機，光柵尺組成閉環控制，實現高精度移動定位。與摩擦式導軌相比，氣浮直線臺的直線度、平面度，Pitch/Roll/Yaw指標得到了很大的提高，同時由于非接觸式，伺服反饋的跟隨誤差有了質的飛躍，定位精度和重復精度得到了顯著提高。
管線優化管理
經過多年研究，線纜管理對性能有影響，我們精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的線纜，以確保操作，減少停機時間。同時使設備外觀更整潔，創造良好的作業環境。
密封裝置
采用獨特的密封裝置，不影響直線臺的精度性能，在應用中防止異物進入氣浮導軌。
定制化
可定制大理石或碳化硅材質的氣浮導軌，提升精度性能，行程也可接受定制。
| 產品型號 | 單位 | RUQFL100C-25 | RUQFL100C-75 | RUQFL100C-100 | RUQFL100C-125 | RUQFL100C-150 | |
| 行程 | mm | 25 | 75 | 100 | 125 | 150 | |
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.05 | ±0.1 | |||
| 標準值 | ±0.1 | ±0.15 | |||||
| 雙重復定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.025 | ±0.05 | |||
| 標準值 | ±0.05 | ±0.075 | |||||
| 直線度 | Plus值 | ｕm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.15 | ||
| 標準值 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.5 | ||||
| 平面度 | ｕm | ±0.15 | ±0.5 | ||||
| Ritch/roll/yaw | Plus值 | ARC SEC | ±0.25 | ±0.5 | ±1 | ||
| 標準值 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ||||
| 電子分辨率 | Nm | 0.3或5（選配） | |||||
| 速度 | m/s | 100 | |||||
| 加速度 | m/s | 1，（5定制） | |||||
| 負載 | Kg | 15 | |||||
| 供氣壓力 | Mpa | ±0.5±0.05 | |||||
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