A530 描述

A530 移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀(Helium Mass Spectrometer Leak Detector)，是一款大抽速（前級(jí)泵抽速30 m3/h），低維護(hù)、高靈敏度、操作便捷的干泵檢漏儀。A530 氦質(zhì)譜檢漏儀輕松檢漏，使您放心得到快速準(zhǔn)確可靠的測(cè)試結(jié)果。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研院所、航空航天、半導(dǎo)體、半導(dǎo)體氣柜，光伏等行業(yè)。

功能特點(diǎn)

大抽速前級(jí)泵，工作效率高

支持正壓檢漏，負(fù)壓檢漏

優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)

自動(dòng)跟蹤本底功能，提供快速可靠的測(cè)量結(jié)果

高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦

機(jī)器的性能支持7*24 小時(shí)長(zhǎng)時(shí)間在線測(cè)試

雙銥絲離子源，系統(tǒng)設(shè)計(jì)有效的防大氣沖擊功能

配有檢漏口精細(xì)過(guò)濾器，過(guò)濾細(xì)微雜質(zhì)，確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷

支持氮?dú)馄瓶眨皇墉h(huán)境氦氣干擾，快速降低本底有可便捷更換過(guò)濾器

技術(shù)參數(shù)

Z小可檢漏率（負(fù)壓模式）            5×10-13Pa?m3/s 

Z小可檢漏率（正壓模式）            5×10-9Pa?m3/s

檢漏口壓強(qiáng)           粗檢        1500Pa

                  中檢        200Pa

                  精檢        40Pa

響應(yīng)時(shí)間                       ＜0.5s

啟動(dòng)時(shí)間                       ≤2min

前級(jí)油泵抽速                     30m3/h（8.3L/s)  

外形尺寸（W×D×H）                780×420×1100

重量                          110Kg

常見(jiàn)泄漏率

檢漏方法示意圖