美國ILT國際光學(xué)致力于提供各種 的光刻膠 儀器來實(shí)現(xiàn)這些困難的測量。如用于ILT2400輻照計的XSD140B光探測器探頭可測量326-401nm波段，輻照度范圍7e-8 ~ 1 W/cm2，直徑大小15x42 mm，另有XSD340B 30 W/cm2高強(qiáng)度探頭，可針對特定波長為這些探頭安裝過濾片以進(jìn)行 測量。
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International Light XSD Detectpr系列光刻探測器
ILT2400+XSD140A：量程4e-8 to W/cm2，響應(yīng)波段320-475 nm，校準(zhǔn)于405nm波長
ILT2400+XSD340A：量程8e-7 to 10 W/cm2，響應(yīng)波段320-475 nm，校準(zhǔn)于405nm波長
ILT2400+XSD140B：量程7e-8 to 1 W/cm2，光譜范圍326-401 nm，中心波長365nm
ILT2400+XSD340B：量程3e-6 to 30W/cm2 高強(qiáng)度，測量光譜326-401 nm，校準(zhǔn)于365nm
規(guī)格文檔說明書download/201805/ILT2400_
美國International Light PCB板曝光測量光刻膠輻照計與探頭選型表
| 輻照計/探頭組合 | 響應(yīng)波長頻譜 | 測量范圍 | 類型及應(yīng)用 |
| ILT5000, SED033/A/W | 320-475 nm | 2e-9 ~ 2 W/cm2 | 臺式，Photoresist光刻膠/光阻材料， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT2400, SED033/A/W | 320-475 nm | 2e-7 ~ 2 W/cm2 | 手持式，Photoresist光刻膠/光阻劑，同上 |
| ILT1000/A/W | 320-475 nm | 2e-7 ~ 2 W/cm2 | 手持式，Photoresist光刻/光阻劑， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT1700, SED033/A/W | 320-475 nm | 7e-9 ~ 4 W/cm2 | 臺式，Photoresist光刻/光阻劑，同上 |
| ILT2400, XSD140A | 320-475 nm | 4e-8 ~ W/cm2 | 手持式，Photoresist光刻/光阻劑， PC板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT2400, XSD340A | 320-475 nm | 8e-7 ~ 10 W/cm2 | 同上，大功 強(qiáng)度輻照探頭 |
| ILT2400, XSD140B | 326-401 nm | 7e-8 ~ 1 W/cm2 | 手持式，Photoresist光刻/光阻劑， PCB曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT2400, XSD340B | 326-401 nm | 2e-6 ~ 30 W/cm2 | 手持式，Photoresist光刻膠/光阻劑，高強(qiáng)度測量 |
ILT2400中文版簡易操作說明書download/201805/ILT2400_Quick_
分析儀軟件介紹文檔download/201805/ILT_DataLight-Trend-
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