等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場＋電子→高能電子 

(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱

低溫等離子體技術處理有機廢氣具有以下優點：

①能耗低，可在室溫下與催化劑反應，無需加熱，極大地節約了能源；

②使用便利，設計時可以根據風量變化以及現場條件進行調節；

③不產生副產物，催化劑可選擇性地降解等離子體反應中所產生的副產物；

缺點是：

①對水蒸氣比較敏感，當水蒸氣含量高于5％時處理效率及效果將受到影響；

②對含粉塵氣體比較敏感，處理效率明顯降低。