高精度測高儀
518系列 — 高精度2D測量系統
?帶0.1µm/0.4µm分辨力/重復精度的指示精度可達(1.1+0.6L/600)µm。
?高精度測高儀加入了廣泛的測量功能。
?為了達到更高的精度,使用高精度反射性線性編碼器和高精度導軌。
?測量可以通過圖標命令來執行,同時,也支持一鍵操作,保證正面的垂直度為5µm,直線度為4µm。
?使用TFT液晶顯示屏,以達到的可視性和可操作性。
?氣體全浮/半浮系統可以進行空氣浮動高度調整。
?配有基本的統計功能,另外,RS-232C數據輸出可通過連接計算機上的SPC軟件,進行外部測量數據評估(可選)。
?精密黑色花崗巖平臺,詳細信息參見E-47頁。
?數據備份/恢復,測量工件程序可通過USB存儲設備來執行(FAT16/32兼容格式)。
■通用參數
●測量范圍: 0 - 977mm
●滑動行程: 600mm
●分辨力(可切換): 0.0001 / 0.001 / 0.01 / 0.1mm
●20oC時精度*1:(1.1+0.6L/600)µmL為MAX測量長度(mm)
●重復精度(2σ)*1:平面: 0.4µm,孔: 0.9µm
●垂直度*2: 5µm(補正后)
●直線度*2: 4µm(機械直線)
●驅動方式:手動/電動(5 - 40mm/s, 7級)
●測力: 1N
●平衡方式:配重(自動恒壓裝置)
●浮動方式:帶有內置空氣壓縮機的全/半浮動
●顯示: 5.7英寸彩色TFT液晶顯示
●顯示語言:日語、英語、德語、法語、意大利語、西班牙語、荷蘭語、葡萄牙語、瑞典語、捷克語、匈牙利語、斯諾文尼亞語、波蘭語、繁體中文、簡體中文、韓語。
●可存儲程序:可達50個測量程序
●可存儲數據:可達60,000個測量數
●電源: AC適配器/電池(Ni-MH)
●電池操作時間:大約5小時(空氣浮動和滑塊占儀器工作量的25%的情況下)*1使用標準?5偏心測頭*2使用杠桿測頭(MLH-521)或Mu-checker(M-511)







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