DF-750是半導(dǎo)體行業(yè)的水分分析儀

DF-750是針對(duì)300mm半導(dǎo)體制造中超高純 (UHP) 氣體測(cè)量而優(yōu)化的一款微量級(jí)/超微量級(jí)水分分析儀。

方案

DF-750是針對(duì)300mm半導(dǎo)體制造過程而優(yōu)化的一款分析儀，可以對(duì)一系列UHP氣體進(jìn)行微量級(jí)和超微量級(jí)水分測(cè)量。該款分析儀可以對(duì)電子工業(yè)級(jí)氣體（包括氮?dú)狻錃狻⒑狻鍤夂脱鯕獾龋┲械乃治廴疚镞M(jìn)行測(cè)量。

可調(diào)諧激光二極管 (TDL) 傳感技術(shù)可以提供的萬億分之100 (ppt) 的低檢測(cè)限(LDL)，從而確保DF-750高度穩(wěn)定和精確的測(cè)量結(jié)果滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)的精密監(jiān)測(cè)需求。

堅(jiān)固耐用的DF-750具有所需維護(hù)少和零漂移穩(wěn)定性等特點(diǎn)，可大大延長(zhǎng)標(biāo)定間隔。低持有成本和測(cè)量性能使得DF-750成為UHP氣體質(zhì)量檢驗(yàn)應(yīng)用的分析解決方案。

可檢測(cè)氣體、測(cè)量范圍和傳感技術(shù)

采用、漂移為零、高度穩(wěn)定的非損耗型TDL微量級(jí)傳感技術(shù)，DF-750可對(duì)電子工業(yè)級(jí)氣體進(jìn)行微量級(jí)和超微量級(jí)水分測(cè)量。

Gas測(cè)量

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