LIBSOPA激光分析儀實現了一維線性掃描、一維深度分析和二維面掃描分析，用統計解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度、夾雜物分布、表面和內部缺陷分析等指標。LIBSOPA為材料成分分析 、 缺陷分析 、涂鍍層分析等 提供了新的技術手段及質量判據 。

　　儀器特點：

　　非接觸、微區、深度分析；兼具原位統計分布分析功能；分析空間分辨率150-400μm

　　儀器參數：

　　一.激發光源

　　激光器：燈泵固體激光器

　　輸出波長：1064 nm

　　脈沖頻率：1~10Hz可調

　　二.雙視場成像：

　　全景視場：100mm100mm

　　微區視場：8mm8mm

　　三.移動掃描系統：

　　移動分辨率：1μm

　　行程：80mm80mm

　　四.剝蝕光斑 ：

　　軟件自動調節

　　尺寸：150μm ~400μm

　　五. 分光系統：

　　巴邢—龍格架法，光柵焦距750 mm

　　高發光全息光柵，刻線為2400條/mm

　　譜線范圍：170~800nm

　　分辨率：優于0.01nm

　　惰性氣體密閉樣品倉

　　可檢測短波元素（C,P,S,B)