STAGE-BaseTM450 混合壓電陶瓷/ 音圈電機主動隔振系統(tǒng)

特點：

采用STACIS技術(shù)

采用可擴展的壓電陶瓷致動器

負載的位置可重復性在微米范圍內(nèi)

可安裝的框架設計

6個隔振自由度

可選的音圈電機前饋或反饋

主動隔振從0.6 Hz開始

快速的調(diào)節(jié)時間來響應平臺運動

沒有氣浮支撐

通過USB2.0與電腦的圖形用戶界面GUI連接的高速數(shù)字控制器

操作簡單、性能穩(wěn)健，高

為了滿足放置在振動隔離系統(tǒng)上的半導體設備嚴格的隔振要求，TMC繼續(xù)推進技術(shù)進步來開發(fā)新的解決方案。 Stage-Base 450是設計用于具有電動x-y平臺的半導體工具的主要振動隔離系統(tǒng)。這種儀器需要非常 gao 效 的振動隔離，同樣他們也要求通過快速設置移動平臺來減小負載從而很大的提高隔振效率。由于用于快速設置調(diào)節(jié)時間來進一步增加隔振效率的前饋控制音圈電機的加入，使其成為用于運動平臺應用的的主動振動和運動隔離系統(tǒng)。

模擬 VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s)振動測試，負載為1540磅 (700 kg)

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