掃描探針顯微鏡/壓電響應力（PFM）

壓電響應力顯微術 (PFM)

生物材料與鐵電材料等的成像

許多材料的機電耦合行為，如生物基細胞膜和蛋白質，鐵電和壓電材料從現

在開始都可以用壓電響應力顯微鏡來表征。

這一成像技術在開發基于鐵電疇變等的新型電子設備方面引起了極大的關

注，在對將來電腦存儲等領域的諸多應用方面的發展有著巨大的潛力。

壓電響應力顯微術是在掃描探針顯微鏡的基礎上，在接觸式掃描過程中對探

針施加一個交流電壓，利用材料自身逆壓電效應來探測樣品表面形變的一類技術

總稱（見圖1）。壓電響應力顯微術已經成為鐵電材料研究的重要手段，廣泛應

用于納米尺度疇結構的三維成像、疇結構的動態研究、疇結構控制和微區壓電、

鐵電、漏電等物理性能表征等領域。其的優勢就是同時具有的分辨率

10-20 nm）和靈敏度 0.1 pm/V）。