Candela 8520第二代集成光致發(fā)光(PL)和表面檢測(cè)系統(tǒng)旨在對(duì)SiC和GaN襯底上的襯底和外延缺陷進(jìn)行高級(jí)表征。利用統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制(SPC)方法實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化晶片檢測(cè)顯著降低了由于外延缺陷造成的產(chǎn)量損失，最小化了金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)反應(yīng)器工藝偏差，并增加了MOCVD反應(yīng)器的正常運(yùn)行時(shí)間。
KLA Candela 8520表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)
產(chǎn)品二維碼| 參 考 價(jià): | ￥ 250 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 產(chǎn)品型號(hào)：Candela 8520
- 品牌：
- 產(chǎn)品類(lèi)別：半導(dǎo)體設(shè)備
- 所在地：
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