敞開式直線光柵尺
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敞開式直線光柵尺適用于需要高精度測量的機床和系統。
典型應用包括:
- 半導體工業的測量和生產設備
- PCB電路板組裝機
- 超精密機床(例如加工光學元件的金剛石刀具,加工磁盤端面車床和加工鐵氧體元件的磨床)
- 高精度機床
- 測量機和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設備
- 直接驅動
機械結構敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵尺和讀數頭,光柵尺和讀數頭間無機械接觸。敞開式直線光柵尺的長光柵直接固定在安裝面上。因此,安裝面的平面度是高精度直線光柵尺應用的前提條件。









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