Park XE7原子力顯微鏡技術參數：
XY掃描器：
- 閉環控制式單模塊柔性XY掃描器。
- 掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選 100 μm×100 μm, 10 μm×10 μm )
Z掃描器：
- 柔性引導高力度掃描器
- 掃描范圍: 12 μm (可選 25 μm)
樣品臺：
- XY臺工作范圍: 13 × 13 mm
- Z臺工作范圍: 29.5 mm
- 聚焦臺工作范圍: 70 mm
光學系統：
- 可觀察樣品和探針的直視同軸光學系統
- 10X 物鏡 (可選20X）
- 視場: 480 × 360 μm
- CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）
Park XE7原子力顯微鏡電路系統：
- 高性能DSP : 600 MHz with 4800 MIPS
- 大圖像尺寸: 4096 x 4096像素, 16個數據圖像
- 信號輸入： 在500kHz取樣時, 16位ADC的20個通道
- 信號輸出： 在500kHz取樣時, 16位ADC的21個通道
- 同步信號 ：圖像結束, 線結束及像素結束TTL信號
- 主動Q控制(選配)
- 懸臂梁彈性常數校準(選配)
- CE Compliant
- 電源 : 120 W
- 信號處理模塊 (選配)
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