Micro-Vu 三坐標(biāo)測量儀具有*的功能性，可被廣泛的應(yīng)用在各種量測的需求的機(jī)構(gòu)設(shè)計造就了高性能的速度與精度，前瞻性的機(jī)電整合技術(shù)，運(yùn)用USB傳輸，簡化了量儀與電腦的溝通InSpec for Windows 幾何量測軟件提供簡易且人性化的接口，讓量測、資料轉(zhuǎn)換及報表輸出變得容易操作與上手，提供免費(fèi)升級的光源系統(tǒng)提升了尋邊與自動對焦的辨識能力與功能。
Micro-Vu 三坐標(biāo)測量儀規(guī)格參數(shù)：
基本規(guī)格 | Excel 664UM Excel 664UC |
測量體積 | 650×680×400mm |
外形尺寸 | 1311×1604×2088mm |
重量 | 1500kg |
容量 | 100kg |
床臺材質(zhì) | 花崗巖 |
電源要求 | 93 - 264VAC,47 - 63Hz,10Amp |
X，Y軸準(zhǔn)確度 | U= 3.5 +L/150μm |
Z軸準(zhǔn)確度 | U= 3.8 +L/100μm |
X，Y加速 | 1000mm/s² |
Z加速 | 500mm/s² |
X，Y速度 | 150mm/s² |
光柵尺分辨率 | 0.1μm |
輪廓光，同軸光，表面光 | 紅光LED技術(shù)（黑白機(jī)種使用） 白光LED技術(shù)（彩色機(jī)種使用） |
光學(xué)鏡頭/倍率范圍 | 12 Opucal/2.5 Digital Programmable Zoom/15x-1200x |
環(huán)境 | 20℃（680F）± 20,30-80％Humidity |
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