PI 普愛納米位移技術
六軸并聯定位臺，納米/微米定位臺，壓電陶瓷/壓電促動器，壓電偏擺鏡，壓電控制器，直線電機/直線促動器，電容位置傳感器
PI壓電偏擺鏡壓電控制器直線電機電容傳感器
| 六軸并聯定位臺 六自由度高精度并聯運動 無軸間運動串擾和誤差累計 低運動慣量，高結構剛度 可自由設定旋轉中心 特殊設計可承受1000公斤以上負載 |  |
| 納米定位臺 從1軸到6軸運動 并聯運動和并聯測量技術 保持記錄的高精度與重復精度 可選電容傳感器可達0.02nm閉環分辨率 定制型號可選擇銦鋼、鈦等不同材料 |  |
| 微米定位臺 從1軸到6軸的直線與旋轉運動 直線電機/陶瓷電機/步進/直流伺服 的大行程納米定位技術 力矩電機+氣浮軸承超高精度轉臺 直線臺/升降臺/旋轉臺/搖擺臺/多軸臺 |  |
| 壓電陶瓷/壓電促動器 壓電陶瓷技術，高可靠性，長壽命 亞納米級位移分辨率，微秒級響應時間 輸出力可達50000N 無機械空回，無靜摩擦和滑動摩擦 不受磁場干擾，提供真空、低溫兼容產品 |  |
| 壓電偏擺鏡 1維至2維超快可控偏擺運動 光學偏擺范圍大可達120mrad 超快響應時間，超高角度定位精度 大量用于光學追蹤、掃描、穩像等應用 可根據用戶的不同需求進行定制 |  |
| 直線電機/直線促動器 壓電陶瓷電機/直線電機/步進/直流伺服 PiezoWalk技術提供毫米級運動行程和亞納米級分辨率，大推力，可自鎖 PiezoWalk系列超小尺寸高速運動 可根據不同推力、行程、速度和精度要求進行定制 |  |
| 壓電控制器 單系統1軸到6軸，以及多軸串接 模擬和數字多種內部結構可選 RS232,USB,TCP/IP等多種計算機接口 *的低噪聲驅動和高級控制算法 提供控制界面和二次開發包，支持LabView, C++, VC, VB, Delphi, Matlab等 |  |
| 微米定位系統控制器 單通道及多通道系統 微步控制/混合控制/實時差補/并行控制 RS232,USB,TCP/IP,CAN等多種接口 多通道系統多種控制網絡方式可選 提供控制界面和二次開發包，支持LabView, C++, VC, VB, Delphi, Matlab等 | |
| 電容位置傳感器 位置、運動、振動的非接觸測量 量程從10微米到1000微米 皮米級位移分辨率，10KHz的帶寬 耐高溫，長時間穩定性（<0.1nm/3h） 無磁及真空環境兼容 |
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