Q?Motion精密線性平臺?
壓電慣性驅動器
壓電陶瓷慣性驅動器為空間節約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅動器,其保持力相對較大,行程幾乎是無限的。慣性驅動原理是基于由特殊驅動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹,移動轉子。由于其慣性,轉子無法跟上促動器隨后的快速收縮,停留在其位置上。工作頻率高達20千赫茲時,驅動直接作用在動輪上,實現大為6毫米/秒的速度。
真空和無磁性環境
所有Q?Motion®線性平臺都適用于高真空中的操作,真空可達10-6 百帕??砂葱杼峁o磁性版本。
Q?Motion精密線性平臺?
直接測量原理
線性平臺配備非接觸式測量光學線性編碼器和參考點開關。分辨率為1納米。
應用領域
微裝配, 光子, 光學對準, 顯微鏡, 高能束線設備, 半導體技術, 測試
德國Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年,一直致力于微米與納米定位技術的研發與制造。PI代表著技術性能,定位精度可達納米。PI可獲得的組件獨立于市場上,并提供超越現有技術水平的單獨解決方案。高度的靈活性為PI的客戶提供了顯著的競爭優勢。 Physik Instrumente提供了超越競爭的技術范圍和垂直生產范圍。然而,PI重要的關注是通過定位解決方案不斷地激勵客戶。今天,無論是在計量、顯微,生命科技,還是激光技術,精密加工技術;無論是半導體科技,數據存儲技術,還是光電子/光纖,天文等領域,PI的產品和技術正得到越來越廣泛的應用,也贏得了越來越廣泛的贊譽。 Physik Instrumente (PI)主要產品: 線性平臺和執行器 電動旋轉平臺和測角器 XY平臺 六足/平行運動 XYZ掃描儀 Z-/傾斜平臺,提示/傾斜鏡和有源光學 陶瓷部件 壓電陶瓷組件 壓電陶瓷執行器 控制器和驅動器 空氣軸承導向系統 主要型號: E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91



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