ST2258A型多功能數(shù)字式四探針測試儀
概述
ST2258A型多功能數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率，擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。
本測試儀特贈(zèng)設(shè)測試結(jié)果分類功能，zui大分類10類
儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。
基本技術(shù)參數(shù)
1. 測量范圍、分辨率
電 阻： 1.0×10-3 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω
電 阻 率： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω-cm
方塊電阻： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ～ 0.1×103 Ω/□
2. 可測半導(dǎo)體材料尺寸
直 徑： 測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，其他方式不限.
長（或高）度： 測試臺直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3. 量程劃分及誤差等級
| 量程 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 |
| kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | |||||
| 誤差 | ±0.5%FSB±1LSB（在各量程范圍內(nèi)），超量程或欠量程可測量，但誤差將隨超欠程度而變大 | ||||||
4） 工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W
5） 外形尺寸：W×H×L=20cm×7.5cm×18cm
凈 重：≤1kg
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