尺寸

4英寸/6英寸

水平旋轉

可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程

2英寸3英寸

X-Y移動精度

10微米

樣品臺Z軸調節

可升降10mm

樣品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環

針座平臺

左右各一個針座平臺，多可放置6個探針座

背電極測試

樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極

外形尺寸

400mm長380mm寬500mm高

重量

約20千克

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡

放大倍率

16X-200X

移動行程

水平方向繞立柱360度旋轉，Z軸50.8mm

光源

外置LED無極調節亮度環形光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

X-Y-Z移動行程

12mm12mm12mm

移動精度

10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

線纜

同軸線/三軸線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑

0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

針尖材質

鎢鋼/鈹銅

加熱臺

顯示器

轉接頭

射頻測試配件

屏蔽箱

光學平臺

鍍金卡盤

光電測試配件