等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。

　　等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。

　　一、控制單元

　　國內使用的等離子清洗機，包括國外進口的，控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。

　　而控制單元又分為兩個大的部分：

　　1）電源部分：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、、，其中是需要電源匹配器的。

　　2）系統控制單元：分三種，按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）。

　　二、真空腔體：

　　真空腔體主要是分為兩種材質的：

　　1）不銹鋼真空腔體。

　　2）石英腔體。

　　三、真空泵：

　　真空泵分為兩種：

　　1）干泵。

　　2）油泵。

　　避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環保的綠色清洗方法。這在高度關注環保的情況下越發顯出它的重要性；

　　使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產場地很容易保持清潔衛生；