在半導體制造中進行的薄膜沉積工藝中，需要以微米為單位進行成膜。
溫度控制也是控制要沉積的擴散氣體的蒸氣壓的重要項目。
我們的電子冷熱恒溫槽實現了百分之一的溫度控制，在氣相沉積工藝上有很多成就。
此外，它在需要精細溫度控制的應用中也很有效，例如在物理、化學和制藥領域。
主要特點
-罐內液體溫度通過電子冷卻方式控制在-～℃范圍內。
? 高分辨率溫度顯示 ℃ (1/100 ℃)
? 通過的液體循環方式實現了高溫穩定性 (± ℃)。
? 內部開發的高精度溫度控制器。
-水箱和控制單元是分開的。
適合并入各種設備。
-通訊功能 RS-232C / RS-485（可選） 除了
溫度設定和運行狀態監控外，還可以遠程操作運行/停止。
便于使用包含多個單元的 CVD 設備進行集中操作。
【主要規格】
| 控制方式 | 水冷式電子散熱方式（Pelche 方式） |
|---|---|
| 設定溫度范圍 | --℃ |
| 溫度指示/設定分辨率 | ℃ |
| 溫度穩定性*1 | ±℃ |
| 以上條件 | 環境溫度 23 ℃ 環境濕度 55% RH 冷卻水溫度 25 ℃ 液體介質 GALDEN HT200 * 2 罐內無熱負荷。 |
| 通訊功能（可選） | RS-232C/RS-485 運行監控、溫度設置以及 運行/停止均可遠程操作。 |
| 工作環境溫度 | 5～35℃ |
| 冷卻水溫度 | 18～30℃（標準：25℃） |
| 冷卻水流量 | /min（根據設定溫度可調） |
| 電源供應 | 單相 AC200V 4A 50 / 60Hz |
| 可用液體介質 | 氟系介質 防凍液等 蒸餾水 |
| 多種保護功能 | 自診斷功能 異常/報警輸出（繼電器輸出） |
| 水族箱內尺寸 (mm) | ?250×430H（液位400H） 有效容積： |
| 水箱外形尺寸（mm） | 321W x 321D x 580H（不包括突出部分） |
| 控制單元外形尺寸 (mm) | 260W x 362D x 147H（不包括突出部分） |
| 仟漁 | https:/// |
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