DF-750是半導體行業的水分分析儀

DF-750是針對300mm半導體制造中超高純 (UHP) 氣體測量而優化的一款微量級/超微量級水分分析儀。

方案

DF-750是針對300mm半導體制造過程而優化的一款分析儀，可以對一系列UHP氣體進行微量級和超微量級水分測量。該款分析儀可以對電子工業級氣體（包括氮氣、氫氣、氦氣、氬氣和氧氣等）中的水分污染物進行測量。

可調諧激光二極管 (TDL) 傳感技術可以提供的萬億分之100 (ppt) 的低檢測限(LDL)，從而確保DF-750高度穩定和精確的測量結果滿足半導體生產的精密監測需求。

堅固耐用的DF-750具有所需維護少和零漂移穩定性等特點，可大大延長標定間隔。低持有成本和測量性能使得DF-750成為UHP氣體質量檢驗應用的分析解決方案。

可檢測氣體、測量范圍和傳感技術

采用、漂移為零、高度穩定的非損耗型TDL微量級傳感技術，DF-750可對電子工業級氣體進行微量級和超微量級水分測量。

Gas測量