產(chǎn)品詳細(xì)信息

高氣體質(zhì)量流量/放大

AWM5000 系列微橋質(zhì)量流量傳感器具有文丘里型流量外殼。它們測(cè)量高達(dá) 20 SLPM 的流量，同時(shí)可產(chǎn)生 H2O 壓降。微橋芯片直接接觸流量蒸汽，可大大減少由于孔口或旁通通道堵塞造成錯(cuò)誤的可能性。

特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

? 線性電壓輸出 ? 文丘里設(shè)計(jì)
? 遠(yuǎn)程安裝功能
? 主動(dòng)激光微調(diào)可提高互換性
? 獨(dú)立的氣體校準(zhǔn)類型：
– Ar（氬氣）
– N2（氮?dú)猓┗?br/>– CO2（二氧化碳）

產(chǎn)品應(yīng)用信息

堅(jiān)固的塑料封裝設(shè)計(jì)可耐受高達(dá) 50 psi 的共模壓力。該小型感應(yīng)元件可耐受 100 Gs 沖擊，而不會(huì)影響性能。隨附的 AMP 兼容連接器在要求苛刻的應(yīng)用中提供可靠的連接。

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

屬性數(shù)值