UV 解膠機
軟件控制UV照射機UPA型,以PLC控制單片晶圓的UV膠膜照射過程,並隨時顯示實際執行的各項參數。
直徑達220㎜的照射窗口,可處理8"(200㎜)的標準規格晶圓。光源可更換更大面積的照射器。
特點:
桌上型設計-安裝簡單。
多功能控制面板-操作方便、穩定度高、維修容易,並可完成遠端控制的需求,依需求修改控制模式,更改操作螢幕之字型等。
全程監視系統-UVLED紫外燈
1.采用UV冷光源,代替了傳統的高壓汞燈,經過試驗認證,使用壽命比普通汞燈壽命長數十倍以上,安全性高,熱量小,功耗低
2.一鍵式全自動根據設定完成所有操作,在達到照射時間后會自動關閉,不需要啟動和等待時間。
3.采用觸摸屏作為人機界面,集成操作和錯誤,報警顯示
4.使用于3inch~12inch的wafer,frame可以定制
功能特點:適用于半導體晶圓切割后的UV解膠工序
序號 | 配件 | 項目 | 單位 | 技術要求 |
1 |
控制系統 (UVSF81T)
| 電壓 | 220V | |
2 | 控制方式 | 屏幕觸控/腳踏/RS232/PLC | ||
3 | 照射功率可調范圍 | 10%- 可調 | ||
4 | 照射模式 | 手動:啟動后常亮 | ||
5 | 自動:設定照射計時時間() | |||
6 | 階梯:實現階梯照射(1-20步數) | |||
7 | 循環階梯:單次/無限 | |||
8 | 通信控制 | RS232串口:實現數據讀寫,LED開關及參數控制 | ||
9 | IO接口:LED開關控制及運行狀態輸出 | |||
10 |
照射頭 (SFHD-250250) | 散熱方式 | 風冷 | |
11 | 波長范圍 | 365±5nm | ||
12 | 外形結構尺寸 | mm | 280X280X92 | |
13 | 發光尺寸 | mm | 250X250 | |
14 | 建議距離范圍 | mm | 15-20 | |
15 | 峰值照射強度(MAX) | mW | 400 | |
16 | 電功率 | W | 1000 | |
17 | 烘箱 (UVOV) | 外形尺寸 | mm | 580X550X225 |
18 | 產品放置尺寸 | mm | 356X400 | |
19 | 電源線 | 電纜 | m | 2 |
20 | 連接線 | 拖鏈電纜 | m | 2 |
復坦希(上海)電子科技有限公司是高科技人才投資和管理的創新型科技公司,是精密移動控制系統、光應用系統集成方面的 *水平科技企業。 公司成立于2010年,公司位于上海西虹橋新開發區,緊鄰展覽中心, 銜接上海虹橋樞紐交通要塞,占地面積約15000平方米,公司不斷致力于產業改革創新,依托原歐美、亞洲等成熟市場,在都具備了核心競爭力。為滿足國內市場的客戶需求和服務,我們以上??偛繛橹行?,,全心全力為客戶提供性價比好的產品和服務(以國內企業生產的產品為主,旨在提高國內生產企業的產品質量)。公司研發、生產的產品已成功應用與光通訊、電子制造、科研、半導體、光學、科研院校等幾乎所有的光電應用領域。隨著不斷的加大投入,公司在國內激烈競爭的環境中不斷發展壯大擁有三大事業部(自動化、光調整、光固化)。
:鄢志軍(經理)
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