光刻機(jī)雙頻激光干涉儀
光刻機(jī)雙頻激光干涉儀是專為光刻機(jī)配套開發(fā)的高精度測量系統(tǒng)；
通過重大專項(xiàng)“規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝”項(xiàng)目驗(yàn)收。
采用能直接輸出線偏振光的雙頻激光器；
低非線性高精密測量系統(tǒng)，測量更精準(zhǔn)；
可提供1~20MHz頻差內(nèi)任意頻差產(chǎn)品，滿足各種測量速度需要。
光源和測量信號接收單元分體式設(shè)計(jì)，方便搭建XY位移臺等多軸測量系統(tǒng)；
精巧的測量信號光纖接收頭，即使空間狹小也能方便安裝；
標(biāo)準(zhǔn)光刻機(jī)干涉儀安裝尺寸和數(shù)據(jù)接口，可直接替換現(xiàn)有產(chǎn)品。
參數(shù)指標(biāo)：
型號 | 頻差(MHz) | 小出光功率(μW) | 光斑尺寸(mm) | 穩(wěn)頻精度(ppm) |
YL1000A | 1.5-2.0 | >500 | 6 | ±0.02 |
YL1000B | 1.9-2.4 | > 500 | 6 | ±0.02 |
YL1000C | 2.4-3.0 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
YL1000CL | 2.4-3.0 | > 500 | 6 | ±0.02 |
YL1000D | 3.4-4.0 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
YL1000DL | 4.0-5.5 | > 500 | 6, 9 | ±0.02 |
YL1000EL | 5.5-6.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
YL1000FL | 6.5-7.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
YL1000GL | 7.5-8.5 | > 500 | 9 | ±0.02 |
YL1000H | 8.5-10.0 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
YL1000I | 10.0-20.0(可定制) | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
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