日本shibaura擴(kuò)散油真空泵ESV系列（小型）
使用例
- 各種真空爐
- 各種實(shí)驗(yàn)的排氣裝置
- 管材制造設(shè)備
- 各種成膜設(shè)備
- 電子束焊接
- 電子顯微鏡
ESV系列陣容
| 模型 | 單元 | ESV-3 | ESV-4 | ESV-6 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 大抽速 | 升/秒 | 380 | 580 | 1,200 | |
| 極限壓力 | 帕 | 10 -6 | 10 -6 | 10 -6 | |
| 工作壓力范圍 | 帕 | 10 -6?3.3 ×10 -1 | 10 -6?3.3 ×10 -1 | 10 -6?0.4 | |
| 臨界背壓 | 帕 | 40 | 40 | 40 | |
| 大排量 | 帕升/秒 | 93 | 190 | 260 | |
| 用油 | 高腰F-4 | 高腰F-4 | 高腰F-4 | ||
| 油量 | 大號(hào) | 0.12 | 0.18 | 0.3 | |
| 墊片 | 維通 | 維通 | 維通 | ||
| 加熱器 | 格式 | 云母帶 | 云母帶 | 云母帶 | |
| 電壓，相 | ACV，相 | 200，1 | 200，1 | 200，1 | |
| 格式 | 千瓦 | 0.55 | 0.75 | 1.2 | |
| 錄取 | VG80 | VG100 | VG150 | ||
| 輔助口 | VG25 | VG25 | VG50 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷卻水量 | L / min，在25℃時(shí) | 1.1 | 1.5 | 2 | |
| 輔助泵 | DRP-360Ⅲ或RP-360Z | DRP-800或RP-800ZⅡ | DRP-800或RP-800ZⅡ | ||
| 擋板格式 | 3C（雪佛龍） | 4C（雪佛龍） | 6C（雪佛龍） | ||
| 帶擋板的抽速 | 升/秒 | 165 | 240 | 450 | |
| 擋板冷卻水量 | L / min，在25℃時(shí) | 1.1 | 1.5 | 2 | |
| 機(jī)油倒流率 | cm 3 / cm 2分鐘 | 10 -8 | 10 -8 | 10 -8 | |
| 材料 | 圓筒 | 不銹 | 不銹 | 不銹 | |
| 噴射 | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | ||
| 大眾 | 公斤 | 8.5 | 11 | 20 | |
| 模型 | 單元 | ESV-8 | ESV-10 | ESV-12 | |
| 大抽速 | 升/秒 | 2,000 | 3,000 | 4,500 | |
| 極限壓力 | 帕 | 10 -6 | 10 -6 | 10 -6 | |
| 工作壓力范圍 | 帕 | 10 -6?3.3 ×10 -1 | 10 -6?3.3 ×10 -1 | 10 -5?0.4 | |
| 臨界背壓 | 帕 | 46 | 40 | 37 | |
| 大排量 | 帕升/秒 | 400 | 460 | 800 | |
| 用油 | 高腰F-4 | 高腰F-4 | 獅子A | ||
| 油量 | 大號(hào) | 0.6 | 1個(gè) | 1個(gè) | |
| 墊片 | 維通 | 維通 | 氯丁橡膠 | ||
| 加熱器 | 格式 | 種子 | 種子 | 種子 | |
| 電壓，相 | ACV，相 | 200，1 | 200、3 | 200、3 | |
| 格式 | 千瓦 | 1.6 | 2.5 | 3.2 | |
| 錄取 | VG200 | VG250 | VG300 | ||
| 輔助口 | VG50 | VG50 | VG80 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷卻水量 | L / min，在25℃時(shí) | 2.5 | 五 | 6 | |
| 輔助泵 | DRP-1500或RP-1200ZⅡ | DRP-1500或RP-1200ZⅡ | RP-1200ZII x 2 | ||
| 擋板格式 | 8C（雪佛龍） | 10C（雪佛龍） | 12C（雪佛龍） | ||
| 帶擋板的抽速 | 升/秒 | 800 | 1,200 | 1,800 | |
| 擋板冷卻水量 | L / min，在25℃時(shí) | 2.5 | 五 | 6 | |
| 機(jī)油倒流率 | cm 3 / cm 2分鐘 | 10 -8 | 10 -8 | 10 -7 | |
| 材料 | 圓筒 | 不銹 | 不銹 | 鐵（鍍鎳） | |
| 噴射 | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | ||
| 大眾 | 公斤 | 二十五 | 45 | 55 | |
[ESV-3]
![[ESV-3]](https://www.shibaura.co.jp/eletec/images/products/vacuum/esv/img01.jpg)
帶擋板和油
[ESV-4]
![[ESV-4]](https://www.shibaura.co.jp/eletec/images/products/vacuum/esv/img02.jpg)
帶擋板和油
[ESV-6]
![[ESV-6]](https://www.shibaura.co.jp/eletec/images/products/vacuum/esv/img03.jpg)
帶擋板和油
[ESV-8]
![[ESV-8]](https://www.shibaura.co.jp/eletec/images/products/vacuum/esv/img04.jpg)
帶擋板和油
[ESV-10]
![[ESV-10]](https://www.shibaura.co.jp/eletec/images/products/vacuum/esv/img05.jpg)
帶擋板和油
[ESV-12]（定做）
![[ESV-12]（定做）](https://www.shibaura.co.jp/eletec/images/products/vacuum/esv/img06.jpg)
帶擋板和油
規(guī)格和建議零售價(jià)如有變更，恕不另行通知。
預(yù)防措施
- 我們的油旋轉(zhuǎn)真空泵是根據(jù)以下用途設(shè)計(jì)和制造的。
（1）進(jìn)氣類型空氣和惰性氣體（N 2，CO 2，He，Ne，Ar，Xe，Rn ...）
（2）進(jìn)氣溫度5-40 ℃
（3）環(huán)境溫度5- 40°C
（4）常壓10 -6至0.4Pa
如果與上述用法不同，請(qǐng)與我們聯(lián)系，因?yàn)檫@可能會(huì)導(dǎo)致泵故障。 - 排出腐蝕性氣體（Cl 2，CCl 4，CF 4，BBr 4，HBr等）時(shí)，可能會(huì)發(fā)生油質(zhì)劣化或未達(dá)到極限壓力的零件腐蝕，從而延長泵的使用壽命請(qǐng)注意，將會(huì)縮短。
- 本目錄中的性能表會(huì)根據(jù)我們的測試標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測量測試和檢查。
因此，它與設(shè)備內(nèi)置的性能值不同。 - ESV-12或更高版本的油擴(kuò)散真空泵涂有耐熱銀粉。
- 擴(kuò)散油當(dāng)
使用標(biāo)準(zhǔn)擴(kuò)散油以外的擴(kuò)散油時(shí)，擴(kuò)散油的
比熱可能會(huì)不同，因此可能無法發(fā)揮出油擴(kuò)散真空泵的原始性能。 - 泵冷卻將
油擴(kuò)散真空泵的冷卻水溫度作為參考，在5至25°C的范圍內(nèi)。
如果冷卻水的溫度過高，將無法有效地冷卻以蒸汽噴射方式噴射到泵內(nèi)壁的機(jī)油，這會(huì)影響泵的性能，例如增加機(jī)油的反向流量。
另外，為了保證冷卻水的質(zhì)量，請(qǐng)使用制量醉高的水。
如果使用水質(zhì)較差的水，則泵冷卻導(dǎo)管的內(nèi)部將被堵塞，并且異常高的溫度將引起諸如泵性能差和冷卻導(dǎo)管焊接不冷卻之類的問題。
作為一種措施，當(dāng)冷卻管內(nèi)部發(fā)生堵塞，且冷卻水不流動(dòng)時(shí)，請(qǐng)使用市售的管道清潔劑等，并清除內(nèi)部堵塞。
如果上述措施仍不能解決問題，則需要更換冷卻導(dǎo)管，請(qǐng)與我們聯(lián)系。
在寒冷地區(qū)使用后請(qǐng)除去水。它可能會(huì)凍結(jié)并損壞。
如果還有其他疑問，請(qǐng)與我們聯(lián)系。
日本shibaura擴(kuò)散油真空泵ESV系列（小型）
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