本設備SF6氣體抽真空裝置是按照DL/T662-1999《六氟化硫充氣及回收裝置》標準，裝置真空泵、指針式真空表、調節閥、輸氣管以及維護SF6斷路器的必須的閥門和儀表控制部件組成，具有如下主要功能：

1、承裝（修、試）SF6氣體抽真空裝置對SF6電器進行抽真空及真空測量；

2、對SF6電器充氣
功能特點
 抽真空充氣高、能耗少

 電源設有相序自動換相系統

 高精度熱偶真空計，簡潔實用

 設計，功能齊全，結構合理，操作簡潔明了

 裝置控制系統采用新技術的SF6閥門

 設備采用移動式結構，方便現場使用，便于移動，不傷害地面

 整機體積小、總量輕、噪聲低

主要配置
 真空泵： 旋片式真空泵（德國）

        真空表：高精度熱偶真空計

        閥門：不銹鋼精密球閥

        連接管：高壓管2根

技術參數
1.  裝置極限真空度小于10Pa

2. 裝置年泄漏率小于1%

3. 充氣系統壓力小于0.8Mpa

4. 系列型號：  

型號  真空泵速率
4型    4升/秒（14.4m3/h）

8型    8升/秒（28.8m3/h）

15型   15升/秒（54m3/h）

30型   30升/秒（108m3/h）

70型   70升/秒（252m3/h）可選用羅茨泵機組

150型  150升/秒（540m3/h）可選用羅茨泵機組
承裝（修、試）SF6氣體抽真空裝置羅茨泵工作原理
羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內，有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有一定的間隙，可以實現高轉速運行。

行業俗稱

sf6抽真空充氣裝置、sf6抽真空裝置、sf6氣體抽真空裝置。