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聚焦智能控制、測量與信號處理 IEEE-ICMSP 2022在杭州開幕
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2022年05月15日 13:30:34 來源:武漢科賽思機電有限公司 >> 進入該公司展臺 閱讀量:860
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激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。
線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。
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