ICP光譜儀，對傳統的電感耦合等離子體發射光譜儀進行了改進，使其性能更加完備，它能同時進行多種元素分析，分析速度極快，應用面廣，幾乎可分析周期表中所有金屬元素和部分非金屬元素。
ICP光譜儀分析過程需要重視的問題：
1、靈敏度漂移的校正
在測定過程中，氣體壓力改變會影響到原子化效率和基態原子的分布；另外，毛細管阻塞、廢液排泄不暢，會使溶液提升量和霧化效率受到影響；以及電壓變化甚至環境溫度等諸多因素都會使靈敏度發生漂移，其校正方法可每測10個樣品加測一個與樣品組成接近的質控樣，并根據所用儀器的新舊程度適當縮短標準化的時間間隔。
3、如何避免樣品間的互相沾污
測量時，不要依次測量濃度懸殊很大的樣品，可把濃度相近的樣品放在一起測定，測定樣品之間，應用蒸餾水沖洗，進標準樣品測試標準曲線時，應該從低標到高標儀次進樣。
4、用來分解樣品的酸，必須滿足的條件：
盡可能使各種元素迅速、*分解；所含待測元素的量可忽略不計；分解樣品時，待測元素不應損失；與待測元素間不形成不溶性物質；測定時共存元素的影響要??；不損傷霧化器、炬管等。
5、配制多元素貯備標準溶液的注意事項：
溶劑用高純酸或超純酸；用重蒸的離子交換水；使用光譜純、高純或基準物質；把有的元素元素分成幾組配制，避免譜線干擾或形成沉淀。比如測硅時就要單獨測硅。
6、標準溶液配置的重要性
不正確的配置方法將導致系統偏差的產生；介質和酸度不合適，會產生沉淀和渾濁；元素分組不當，會引起元素間譜線干擾；試劑和溶劑純度不夠，會引起空白值增加、檢測限變差和誤差增大。
