現以SF6除因其比重大(約為空氣的5倍)，可以在下部空間積聚引起缺氧窒息外，其純氣是無毒無公害的。但是在其生產過程中或者在高能因子例如高溫、高能粒子的作用下，則會分解產生若干有毒有害、甚至劇毒、強腐蝕性物質，而且體系中的某些共存物質例如、水分、空氣(氧)、電極材料、設備材料等，均會導致上述過程的復雜化，致使分解產物的數量和種類明顯增加，其危害自然也顯著增大。
SF6氣體雜質的危害主要表現在某些酸性物質特別是HF、SO2等引起設備材質的腐蝕；某些雜質特別是在水分的存在，在一定條件下可能導致電器性能劣化，甚至造成嚴重設備事故，例如美國VEP公司500KV系統中SF6中存在的諸如SF4、SOF2、SF2、SO2F2、HF等均為毒性和腐蝕性的化合物，對人體危害極大，S2F10則屬劇毒物質，其空氣中***高容許濃度為0.025ppm。我國也曾發生過因上述物質引起的惡性人身事故。此外，還應指出，我國科學工作者近年來發現在SF6氣體產品中經常含有S2F10O，有時其含量甚至達數百ppm，盡管目前對其有毒有害性尚未能確認，但值得引起注意。
SF6氣體微水測試儀
有鑒于此，對SF6氣體施行嚴格的質量監測與安全管理是***設備***運行和人身健康安全的重要***。為此國際電工委員會(IEC)與1971年和1974年頒布了SF6氣體質量標準和對新SF6新氣和經電弧作用后的標準分析方法；我國于1982年5月公布了《六氟化硫氣體技術條件》，此外國外許多SF6氣體重要生產廠家均制定了各自的質量標準，以此作為市場競爭的重要依托。
為了監督檢驗SF6中的雜?**櫸趾禿浚?**建立起準確***的分析檢測方法和技術，此乃是實現SF6氣體質量控制的技術基礎的前提。在該領域國外自七十年代以來有若干文獻發表。我國已發表綜術文章。北京市勞動保護科學研究所自1978年以來進行了SF6氣體質量分析檢測技術的綜合研究和開發工作，并編輯了該領域的重要文獻資料。
SF6氣體使用安全***的另一重要環節是建立、健全系統的氣體質量管理體制。它包括各類條例、標準、規程的制定實施，各級質量檢驗機構的建立，各級負責人和實驗操作人員的技術培訓等內容。只要能緊緊抓住技術和管理這兩個基本環節，SF6氣體的安全使用和電氣設備的安全運行是可以得到******的。
