高低溫真空探針臺

產品概述：

   可進行真空環境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設計，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩定性和重復性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動，器件的高頻特性(支持高67GHz頻率)，探針熱沉設計，LD/LED/PD的光強/波長測試，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。

高低溫真空探針臺選型注意事項：

※大需要測幾inch的晶圓或者器件！是否需要測試破片或者單顆芯片！小的單顆芯片尺寸！

※探針臺機械精度要求多高！

※點測樣品的電極尺寸！100μm 100μm或60μm 60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內部的metal線路！

※多需要幾個探針同時去點測！

※是否會用到探針卡測試！

※光學顯微鏡的小分辨率需要用到多少！

※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測！

※探針點測時，對電流的要求是否達到100fa或者以下！低

電容要求是否要做到0.1pf！是否有射頻需求！

※接駁的測試儀器接口有哪些！

※測試環境時是否會需要加熱或者降溫！ 是否需要密閉腔體！

※對chuck的漏電要求怎樣！是否需要添加低阻抗chuck！

※是否需要防震桌！

※若添置防震桌，是否有壓縮空氣！