風(fēng)淋室在現(xiàn)今而言，半導(dǎo)體工業(yè)愈來(lái)愈興盛情況下，其清凈室(cleanroom)的設(shè)計(jì)也就很重要，但是在目前能源危機(jī)的陰影下，其cleanroom　的能源效率在設(shè)計(jì)時(shí)是很重要的考慮因素，

所以在以下的報(bào)告中，將提出一些有關(guān)這方面的探討。

達(dá)到設(shè)計(jì)及管理 Cleanroom 的能源效率的方法約有 :

1．將風(fēng)管靜壓減至最小-使用最小的風(fēng)扇馬達(dá)。
2．用空氣干燥的除濕機(jī)以代替鹵水供給至盤(pán)管-作濕度控制。
3．精確設(shè)定調(diào)溫器及風(fēng)扇循環(huán)時(shí)間。
4．正確互動(dòng)地控制定序的指令及其它可達(dá)到正確尺寸和操作cleanroom之設(shè)備。

除了這些方法之外，風(fēng)淋室其日常的保養(yǎng)工作也是很重要的包含 :

(1)須時(shí)常更換前置過(guò)濾器
(2)須適時(shí)的更換 HEPA filter 來(lái)節(jié)省風(fēng)扇運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用
(3)冷卻水塔和其它適合操作的狀況 這些也可使 cleanroom 的能源效率維持在化。

　　以上所有這些方法，都是為了節(jié)省 cleanroom 能源使用的總數(shù)。變頻控制除了應(yīng)用在馬達(dá)啟動(dòng)外，最主要能被應(yīng)用到排氣風(fēng)扇，外氣風(fēng)扇，控制的 transducers 經(jīng)由易變的入口體積以達(dá)到保持cleanroom 穩(wěn)定的壓力。

　　很多 cleanroom 的設(shè)計(jì)在建物容積及排除的總熱條件下，相當(dāng)于大型的商業(yè)建筑物，也就是說(shuō)一個(gè)20 樓的辦公大樓的操作，被濃縮成一樓的cleanroom ，但是所排除的總熱是相當(dāng)?shù)摹?

　　cleanroom　工業(yè)必須依顧主不同的需求，可以有各種能源效率的設(shè)計(jì)，且可根據(jù)事前計(jì)算，以精確設(shè)計(jì)cleanroom　的清凈度。事實(shí)上，大部份較大的清凈室的典型設(shè)計(jì)一是用一冰水機(jī)裝置來(lái)排除自風(fēng)扇馬力的機(jī)械熱負(fù)荷。

　　在省能的空調(diào)中，工程師能夠設(shè)計(jì)現(xiàn)代化的工程， 一大規(guī)模的辦公大樓不必為了能源法規(guī)來(lái)用這些設(shè)備，而是為了滿足大型工業(yè)委托設(shè)計(jì)的能源效率。

　　對(duì)箱型氣冷冰水主機(jī)而言， 包括一些螺旋式壓縮機(jī)、卸載、復(fù)合式卸載的往復(fù)式壓縮機(jī)和復(fù)合式單速或雙速的密封型壓縮機(jī)，很少是離心設(shè)備的，其主要原因是價(jià)格。 顧主都希望用較少的錢(qián)去買(mǎi)個(gè)冰水機(jī)并附有電子式控制， 可用復(fù)式的冷凝器風(fēng)扇來(lái)使整個(gè)循環(huán)適當(dāng)?shù)木S持壓力頭。

　　有效能源的　cleanroom　可采用吸收式冰水機(jī)，利用天然瓦斯來(lái)產(chǎn)生冰水，且配合電的操作來(lái)混合產(chǎn)生冰水，吸收式冰水機(jī)系統(tǒng)，本身用電量極少， 只有循環(huán)水泵、冷凍抽水機(jī)、冰水泵須用電，能源缺乏的情形下，cleanroom 若想省能可以用吸收式冰水機(jī)。

　　還有一種則是使用儲(chǔ)冰系統(tǒng)，可以利用離峰時(shí)段用電在此期間冷卻循環(huán)做儲(chǔ)冰(儲(chǔ)存大量的冰塊)，在利用尖峰時(shí)段，將儲(chǔ)存的冰塊溶化產(chǎn)生冰水， 再送至 cleanroom 區(qū)間去冷卻，這種方式也可達(dá)到有效能源的cleanroom，用儲(chǔ)冰的方式不只可省電，且經(jīng)常可允許較小的機(jī)械系統(tǒng)的安裝。