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掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope）的優(yōu)點(diǎn)有哪些？

2023年05月22日 11:48:54      來源：上海豫光儀器有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺(tái)      閱讀量：31

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什么是掃描電子顯微鏡？

掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope）是應(yīng)用電子束在樣品表面掃描激發(fā)二次電子成像的電子顯微鏡。主要用于研究樣品表面的形貌與成分。

掃描電子顯微鏡有哪些優(yōu)點(diǎn)？

 1、電子束對(duì)樣品的損傷與污染程度較小；

2、在觀察形貌的同時(shí)，還可利用從樣品發(fā)出的其他信號(hào)作微區(qū)成分分析；

3、樣品制備過程簡(jiǎn)單，不用切成薄片；

4、能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)，樣品的尺寸可大至120MM×80MM×50MM；

5、樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn)，因此，可以從各種角度對(duì)樣品進(jìn)行觀察；

6、景深大，圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍；

7、圖象的放大范圍廣，分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍，它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間，可達(dá)3NM。

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