專業述語所說高純水和我們平時所說的飲用純凈水是兩種不同的水質，由于高純水制作過程中使用了一些化學成份的東西，且處理完后水中除了水不含任何的物質。對人體是無益的。
高純水的水質標準中所規定的各項指標的主要依據有：
1.微電子工藝對水質的要求;
2.制水工藝的水平;
3.檢測技術的現狀。
在高純水的生產過程中，水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術等去除;水中的顆粒一般可用超濾、反滲透膜過濾等技術去除;水中的細菌，目前國內多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應用的領域中，水的純度直接關系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導致低擊穿，產生缺陷，還影響材料的少子壽命，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。
天然水中溶解的氣體主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、氯氣等，在高純水的生產過程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質，在生產高純水的過程中，加入了一些化學殺菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。這些都是為什么高純水不能作為飲用水的原因之一。
