自激式超聲波驅動板不要求專設振蕩器，不需要啟動電路，大功率開關管兼作振蕩管，超聲波換能器本身是一個容性元件，外加電感后組成一個串聯諧振電路。接通電源后自激電路沒有信號源，是把振蕩、功放、輸出變壓器及換能器集為一體，形成一閉環回路，回路在滿足幅度、相位反饋條件，組成一個有功率放大的振蕩器。并諧振于換能器的機械共振頻率上。
自激式超聲波驅動板一般應用于超聲波換能器數量少的小型設備；但是對于超聲波換能器數量多的情況下，無法調試達到共振效果。所以目前工業超聲波洗凈設備的超聲波電源大都采用他激方式。 電路會自激振蕩，并將振蕩信號反饋給大功率開關管，經開關管放大后再送給諧振電路，整個電路是個閉環回路。發生器產生足夠的功率，使超聲波換能器自動保持諧振。自激式超聲波發生器電路簡單，體積大，出力不夠穩定，適合小功率發生器的清洗應用，也可與單元電路并聯組合，驅動大功率換能器。

自激式超聲波驅動板一般應用于小型臺式超聲波清洗器，其主要特點就是線路簡單，維修簡單，價格便宜，但其缺點也是比較明顯的，目前國內大部分小型臺式主要采用的是自激式超聲波驅動電路，導致實際超聲波頻率和超聲波功率與標準超聲波頻率和功率偏差比較大，進而影響很多實驗數據失真或導致購買小型臺式清洗精密部件時損傷清洗部件，對于專業性比較強的科研單位及實驗室在購買超聲波清洗儀器時盡量選擇它激式超聲波驅動電路；