70年代以前國內外氣調設施的制氮機多選用催化燃燒式機型。我國早由山西煤炭化學研究所研制成功，它的基本原理是以鉑為催化劑燃燒丙烷，不斷引入空氣以消耗O2，得到比較純凈的N2，送入氣調庫中用以降O2該機燃燒溫度高達500℃，所獲得的N2須經冰水降溫后方可送入氣調庫，需要消耗大量水和燃料，操作也不太方便，目前已很少使用。

70年代末開發的焦炭分子篩制氮機。它的基本原理是用表面積極大的焦炭分子篩將O2吸附并排出高濃度的N2。后來經過發展進行園藝產品氣調保鮮試驗，以后很快推廣到全國各地。通過引進、吸收、消化、改進，使該機更加*，在保鮮界得到廣泛認可和應用。研究結果證明，碳分子篩制氮機確比燃燒式制氮機有許多優點，它無需燃燒和降溫處理，操作也相對簡單。但其機體龐大和需要更換碳分子篩等則是它的先天不足。

80年代，隨著科學技術的發展和工業加工水平的提高，又出現了新一代制氮設備，即膜分離制氮機。這種制氮機的心臟是一組極細的中空膜纖維組件。將潔凈的壓縮空氣通過膜纖維組件將O2和N2分開，所產N2比催化燃燒式更純凈，其機械結構比碳分子篩制氮機更加簡單，也更易于自動控制和操作，在價格上仍稍高于碳分子篩制氮機。這是迄今為止被認為是制氮設備中的一種機型。

目前市場上普遍用的是PSA空分制氮機，也就是變壓吸附式制氮機，變壓吸附制氮流程簡樸，設備數量少，主要設備僅有空壓機、空氣干燥器、吸附制氮機和儲氣罐等。