半導體應變片雖具有體積小、靈敏度高等優點，但其溫度系數太大，且應變時非線性嚴

重。隨著新材料、新工藝的發展，人們選用晶體(硅、錯、藍寶石、石英等)材料，采用微

電子技術和微細加工技術研制出了新型的半導體應變式傳感器一一壓阻式傳感器. 這種傳感器
測量精度高， 工作可靠，工作溫度范圍寬，容易實現數字化，比普通應變式傳感器體積小而
輸出信號大，并且克服了半導體應變片存在的問題，又能將電阻條、補償線路、信號轉換電路
集成在一塊硅片上，甚至將計算處理電路與傳感器集成在一起， 因此得到了廣泛的應用，是
一種具有發展前途的傳感器。

    2. 5.1 壓阻式傳感榻的結構與工作原理

    壓阻式傳感器是用集成電路工藝技術，在硅片上制造出四個等值的薄膜電阻，并組成電

橋電路。當不受力作用時，電橋處于平衡狀態，無電壓輸出z 當受到力作用時，電橋失去平……

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