2.4 壓阻傳感器的應用

1.壓阻式壓力傳感器

    壓力傳感器主要由三部分組成：感壓部分，直接承受被測應力；轉換部分，
將待測應力轉 換為電信號;激勵部分，外加的激勵電源，在硅彈性膜片上,用半
導體器件制造技術在確定 晶向上制作相同的四個感壓電阻,將它們連接成惠斯登
電橋，接上外加電源，就構成了基本 的壓力傳感器。

圖2 - 37所示為硅壓阻式壓力傳感器結構圖，主要由外殼、硅膜片及引線等紺成，
其核心部分是一塊圓形膜片，在膜片上利用集成電路的成形工藝方法設置了四個
阻值相同的電阻,構成平衡電橋的四個橋臂。膜片的四周用一圓環(huán)(硅環(huán))固定，如
圖2-38所示。膜片的 兩邊有兩個壓力腔：一個是和被測系統(tǒng)相連接的高壓腔；另
一個是低壓腔,通常與大氣相通。

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