11.3.5 納米技術及MEMS技術在半導體氣體傳感器中的應用
2022年12月22日 14:15:45
來源：深圳市新世聯科技有限公司 >> 進入該公司展臺
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文摘：
半導體陶瓷氣體傳感器具有靈敏度高。結構簡單、價格便宜等優點，
得到了迅速發展，有相當數量的產品,至今已成為一大體系，但這類
傳感器存在著如下缺點,①選擇性差、靈敏度和稍度低、穩定性不高；
②需要加熱控溫裝置，增加了傳感器的體積、功耗和復雜度； ③不
便用現行的微電子工藝制作，不利于信號處理電路的集成,這些都妨
礙了它的應用。 過去通過摻雜催化劑、控制工作溫度、利用過濾分
子篩等手段，取得了相當大的成功，但終究 沒有解決這些問題。
因此，研制易于集成和批最生產、體積小、無須加熱、功粍低、可檢
測多種有機氣體的新型氣體傳感器,具有現實意義，納米技術在半導
體陶瓷氣體傳感器中 的應用，給這類傳感器帶來了希望，并取得了
極大的進步。
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濕度傳感器
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