在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)制造過程中,晶圓通常需要放置在烤箱中進(jìn)行烘烤操作。一是為了在晶圓打上墨印后烤干墨印,二是為了高溫性能測試，即測試晶圓產(chǎn)品在特定高溫狀態(tài)下功能是否正常。那么，用于電子半導(dǎo)體元件固化，要選擇什么樣的烘箱更合適呢？

       推薦怡和興研發(fā)的半導(dǎo)體晶圓烤箱。它可執(zhí)行晶圓級預(yù)燒和磁性退火等前道半導(dǎo)體功能， 以及組裝/晶圓級包封功能（例如黏晶固化、穩(wěn)定性和預(yù)燒測試以及熱沖擊），以滿足其退火、干燥及熱分解需求，還滿足在大規(guī)模半導(dǎo)體封裝和組裝生產(chǎn)中對潔凈工藝、低氧化、粘合劑和聚合物的高效固化等要求。半導(dǎo)體烘箱具備以下特點(diǎn)：

1、高性能的絕緣結(jié)構(gòu)。從里到外有內(nèi)腔、內(nèi)殼、超細(xì)玻璃纖維、空氣夾層，內(nèi)膽熱量損失少。內(nèi)膽外箱及門膽機(jī)構(gòu)，極大減少了內(nèi)腔熱量的外傳。

2、置于箱體背部的電加熱器熱量通過側(cè)面風(fēng)道向前排出，經(jīng)過干燥物后再被背部的高性能專用風(fēng)機(jī)吸入，形成合理的風(fēng)道，能使熱空氣充分對流，使箱內(nèi)溫度更大限度達(dá)到均勻。

3、配置自動充氮?dú)庋b置，與自動開關(guān)風(fēng)門進(jìn)行充氮烘烤；

4、全新開發(fā)觸摸屏操作系統(tǒng)，帶高精度PID主控儀，控溫精度為±0.1℃，自動恒溫。可以保存配方，查看溫度曲線，導(dǎo)出升溫數(shù)據(jù)等；

5、根據(jù)使用要求，可以接受定制。