工具顯微鏡作為常用的測量工具對零件有多種測量方法，以下介紹幾種常用的測定方法：
1、直角坐標的測定：
測定物的直角坐標方向和十字形工作臺的移動方向一致時方可進行測定。十字移動工作臺的移動量就可直接讀取直角坐標值。如大型工具顯微鏡，使用瞄準孔直角坐標測定上的像連接觀測眼即可正確測定，而進行測定物直角坐標方向和十字移動工作臺校正時，需使用裝設在大型工具顯微鏡上的裝配式旋轉(zhuǎn)工作臺，小型工具顯微鏡只要旋轉(zhuǎn)臺附件即可。
2、角度的測定：
使用旋轉(zhuǎn)工作臺或角度觀測透鏡即可進行測定。角度觀測透鏡的精度比較好。
3、高度的測定：
小型工具顯微鏡雖然無法測定高度，但是如果把量銀裝在支柱的上端，然后利用顯微鏡的上下移動量即可測定高度。但是由于焦點深度、支柱傾度及量銀和光軸間等因素影響，正確測定還是比較困難。
4、孔徑的測定：
一般使用角度觀測透鏡測定。大型工具顯微鏡可使用重疊影象觀測透鏡或者光學探測子，就是使用重疊影象透鏡，使生成的兩種像重疊，接著在相對的一方也是同樣，于是由移動量即可顯示孔的內(nèi)徑。如若使用光學探測器，先將它裝設在3倍的對物透鏡上，然后對準探測子和工作臺的移動方向，再調(diào)整觀測鏡內(nèi)之重疊線平行于觀測透鏡的十字線，而使測定子接觸孔穴面，最后用Y軸上的進給校正重疊線的逆向移動，并用X軸進給使重疊線夾住觀測透鏡的十子線，即可讀取X軸上的測定值。相對側(cè)的孔穴也這樣，所以讀取的差值再加上探測子的直徑即可獲得孔穴內(nèi)徑。