真空電控位移臺是為真空環境設計的真空電控位移平臺,電控真空位移臺和電控真空位移臺,廣泛用于真空環境的電控位移定位操作應用。
真空電控位移臺采用真空兼容步進電機。使用M6螺釘，可搭建成 二維XY系統。采用角架2AB175V，還可搭建XZ二維垂直位移臺系統和XYZ三維系統，還可以采用光學底板3UBP175V直接安裝到光學平臺上。
配套高度真空兼容Sub-D接口連接器,具有9或15針連接器。連接器是玻璃制成，里面填充的是聚合物，外殼是不銹鋼，適用于真空度高達10^-6毫巴和溫度高達110°C的環境。
特點
窄型型材設計節省安裝空間
超級緊湊設計方便安裝使用
分辨率高達 0.31 µm (1/8步模式)
導軌精度高
絲桿螺距是0.5 mm
可以搭建成XYZ三維系統
XYZ三維系統裝置
高度真空Sub-D連接器的規格：
真空：10-6毫巴
主體材料：DEP
溫度范圍：- 55°C至110°C
針材質：鍍金銅合金
提供其他大小的連接器和真空密封裝置。
產品規格
絲杠螺距 0.5 mm
全步進分辨率 2.5 µm
zui大速度 5 mm/s
載重量
水平 8 kg
立式 3 kg
真空，乇 10-6
電機連接器 DB9（M）
步進電機 VSS42
裝配
X-Y 直接
Z 2AB175V
平面 3BP175V
控制器 8SMC4-USB
8SMC3-RS232
速動限位開關 雙端開關
類型 推動“關閉”
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